中科仪拟自筹4.23亿元实施集成电路干式真空泵扩产项目

中科仪公告拟自筹4.23亿元实施集成电路干式真空泵扩产项目，计划在沈阳、南通及上海建设，预计建设期为3年。项目投资中，中科仪及上海分公司拟投入1.91亿元，南通子公司拟投入2.32亿元；第一年计划投资3.36亿元。