屹唐股份北京工厂第1000台机台发车，交付能力迈上新台阶

屹唐股份北京工厂第1000台集成电路制造设备近日正式出厂发车，标志着工厂设备交付规模实现新跨越。今年上半年，公司研发投入3.75亿元，同比增长2.35%，占营业收入比例为17.61%，同比增加2.83个百分点。新一代先进干法刻蚀设备已进入海外市场，等离子体表面处理设备获得多家全球重点客户量产验证与重复订单。